По способу подачи среды крионасосы делятся на следующие виды:
Криогенный насос резервуара для хранения: низкотемпературная среда (жидкий гелий) впрыскивается непосредственно в резервуар для хранения в насосе для конденсации газа для достижения цели перекачки.
Преимущества крионасоса для резервуара-хранилища заключаются в том, что насос имеет небольшой размер, не вибрирует, не шумит и прост в эксплуатации.
Недостатком криогенного насоса накопительного бака является то, что эксплуатационные расходы высоки, время использования каждой заправки низкотемпературной средой короткое, а вакуумная система, которая должна работать непрерывно в течение длительного времени, нуждается в периодическом пополнении рабочего объема. среды, и ограничивается условиями подачи низкотемпературной среды.
Технологический крионасос: труба охлаждения криопанелей в насосе соединяется с холодильным детандером, а криогенная среда (газообразный гелий) по внешнему трубопроводу подается в крионасос, поглощает тепло криопанелей, а затем возвращается в холодильный компрессор в образуют замкнутый цикл. Объем насоса огромен, трубопровод сложен, а потери на охлаждение трубопровода велики.
Преимущество технологического крионасоса в том, что он обладает большой охлаждающей способностью и наиболее подходит для удаления атмосферного объема или большой вакуумной камеры.
Малый рефрижераторный крионасос: Малый рефрижераторный крионасос замкнутого цикла состоит из низкотемпературного корпуса насоса, криопанели для отвода воздуха, радиационной защиты пластины, холодильника и компрессора.
Самая большая разница между криогенным насосом небольшого холодильника и криогенным насосом процесса заключается в том, что первая и вторая охлаждающие головки холодильника напрямую соединены с радиационным экраном и охлаждающей пластиной, а поток в соединительном трубопроводе между холодильник и компрессор нормальной температуры, высокой (или низкой) температуры. ) газовая среда под давлением, нет проблем с транспортировкой низкотемпературной среды, и она имеет преимущества технологического крионасоса и крионасоса резервуара для хранения. В настоящее время это идеальный чистый насос сверхвысокого вакуума.
Небольшие рефрижераторные крионасосы широко используются в производстве тонких пленок, технологии микроэлектроники, физике высоких энергий, оборудовании с небольшими кольцевыми головками и в других областях промышленности.